多晶硅按纯度分类可以分为冶金级(工业硅)、太阳能级、电子级。
1、冶金级硅(MG):是硅的氧化物在电弧炉中被碳还原而成。一般含Si 为90 - 95% 以上,高达 99.8% 以上。
2、太阳级硅 (SG):纯度介于冶金级硅与电子级硅之间,至今未有明确界定。一般认为含Si在 99.99 %– 99.9999%(4~6个9)。
3、电子级硅(EG):一般要求含Si > 99.9999 %以上,超高纯达到99.9999999%~99.999999999%(9~11个9)。其导电性介于 10-4 – 1010 欧厘米。